Intel要尝鲜!ASML新一代EUV光刻机开造:造价、配置堪称无敌
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Intel要尝鲜!ASML新一代EUV光刻机开造:造价、配置堪称无敌
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據外媒最新報道稱,ASML已經開始制造新一代極紫外(EUV)光刻機,其每臺造價達到了1.5億美元,約合人民幣近9.7億元。
據悉,在位于美國康涅狄格州郊區的一間大型潔凈室里,ASML工程師們已經開始為一臺機器制造關鍵部件,這臺機器有望讓芯片制造行業沿著摩爾定律至少再走上10年時間。
“這真是一臺不可思議的機器,”麻省理工學院研究新型晶體管架構的教授 Jesús del Alamo 說。“這絕對是一款革命性的產品,是一項突破,將給芯片行業帶來新的生命。”
造好的組件將于2021年底運往荷蘭維荷芬,然后在2022年初安裝到新一代極紫外光刻機的第一臺原型機中。Intel可能會使用這種新機器制造出第一批芯片。
值得一提的是,新一代極紫外(EUV)光刻機采用更大的數值孔徑來進一步縮小芯片上的元件尺寸。這種方式允許光線以不同角度穿過光罩,從而增加圖案成像的分辨率。這就需要更大的鏡子和新的軟硬件來精確控制組件蝕刻。
ASML當前一代極紫外光刻機可以制造出分辨率為13nm的芯片。新一代極紫外光刻機將使用更高數值孔徑來制作8nm大小的特征圖案。
目前臺積電在芯片制造過程中使用的就是極紫外光刻技術。其客戶包括蘋果、NV和Intel。
總結
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