光刻机是干什么用的 芯片制造的必须环节
去年,我國芯片的設(shè)計和生產(chǎn)被國外封鎖,而制造芯片的環(huán)節(jié)中光刻機是必不可少的一份,但恰恰光刻機這種東西世界上沒有幾個國家能造的出來。
光刻機是芯片制造的核心設(shè)備之一,作為目前世界上最復(fù)雜的精密設(shè)備之一,其實光刻機除了能用于生產(chǎn)芯片之外,還有用于封裝的光刻機,或者是用于LED制造領(lǐng)域的投影光刻機。目前,我國高端的光刻機,基本上是從荷蘭ASML進口的。光刻機作為工業(yè)制造之花,已經(jīng)是真正高科技的象征,這個設(shè)備非常精密,沒有他芯片幾乎是制造不出來的。
簡單來說,就是在硅片上覆蓋一層具有高度光敏感性的光刻膠,再用紫外光透過掩模照射硅片,被光線照射到的光刻膠會發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。此后用特定顯影液去洗硅片上的光刻膠,就完成了把電路圖從掩模轉(zhuǎn)移到硅片上的工作,這是制造芯片中的重要一步。
光刻包括光復(fù)印和刻蝕工藝兩個主要方面:1、光復(fù)印工藝:經(jīng)曝光系統(tǒng)將預(yù)制在掩模版上的器件或電路圖形按所要求的位置,精確傳遞到預(yù)涂在晶片表面或介質(zhì)層上的光致抗蝕劑薄層上。
2、刻蝕工藝:利用化學(xué)或物理方法,將抗蝕劑薄層未掩蔽的晶片表面或介質(zhì)層除去,從而在晶片表面或介質(zhì)層上獲得與抗蝕劑薄層圖形完全一致的圖形。集成電路各功能層是立體重疊的,因而光刻工藝總是多次反復(fù)進行。例如,大規(guī)模集成電路要經(jīng)過約10次光刻才能完成各層圖形的全部傳遞。
而光復(fù)印技術(shù)就是光刻機,而刻蝕工藝就是蝕刻機。目前全球最先進的荷蘭ASML公司,其在生產(chǎn)光刻機的過程中也需要用大量美國的技術(shù)以及美國的供應(yīng)商,這也是為何美國可以阻止ASML公司將光刻機賣給中國的原因,同樣,這也是美國可以阻止全球各大芯片代工廠給中國企業(yè)生產(chǎn)芯片的原因,因為這些企業(yè)所使用的,大部分都是ASML的機器。
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目前光刻機在芯片領(lǐng)域是一個炙手可熱的設(shè)備,我國芯片發(fā)展受阻正是因為沒有先進的光科技造成的。
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總結(jié)
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