公司名錄	主要產品類型	技術來源
無錫納微電子有限公司	硅壓力傳感器	是2008年1月由中國無錫留學人員創業園、中國愛德基金會，和主要創業人員等共同出資，南京大學教授都有為院士任公司董事長及首席科學家，海外留學歸國人員桂建明博士任公司總經理
北京廣微積電科技有限公司	壓力傳感器、非制冷紅外探測器	公司主要設計研發人員均來自國外，尤其在集成電路設計及微傳感器系統集成方面具有極其雄厚的科研實力，與西安西岳電子合作非制冷紅外探測器
西安中星測控有限公司	MEMS慣性傳感器，壓力傳感器	成立于2004年8月，由原西安中星測控有限責任公司（成立于1996年4月）與新加坡泛偉投資控股公司（Panweld Holdings Limited）共同出資組建；設有四個研究機構：慣性產品研究室、光電傳感研究室、汽車電子研究室和力與壓力研究室
蘇州敏芯微電子技術有限公司	MEMS微型硅麥克風，硅壓力傳感器?	公司的管理團隊有著深厚的半導體封裝和MEMS產業背景，并曾作為創始人實現過一家半導體封裝公司及一家MEMS公司的上市；公司的技術核心團隊有著在國內外頂尖大學微電子實驗室從事 MEMS 與集成電路（IC）技術研究的寶貴經驗，擁有數項涉及 MEMS 關鍵技術的突破性發明和世界級科研成果
歌爾聲學股份有限公司	微型麥克風、微型揚聲器	與中科院聲學所、北京郵電大學等國內外多家知名高校和科研機構有長期的戰略合作伙伴關系
重慶金山科技（集團）有限公司	膠囊內窺鏡，硅微型泵	其總經理為原寶雞傳感器研究所所長
北京青鳥元芯微系統科技有限責任公司 ?	微型濕度傳感器MEMS壓力傳感器、加速度傳感器	以"北京大學微電子學研究院"和"微米/納米加工技術國家級重點實驗室"為技術依托
寶雞秦明傳感器有限公司	壓力傳感器	以中國第一個傳感器專業研究所——寶雞傳感器研究所為其研究 開發中心
上海芯敏微系統技術有限公司	?	以中科院上海微系統所傳感技術國家重點實驗室
北京七星華創電子股份有限公司	設備	前身是國家骨干電子企業
北京創威納科技有限公司	設備	主要技術人員曾在中國科學院微電子中心、清華大學等單位長期 從事半導體設備及工藝研究工作
江蘇英特神斯科技有限公司（Intellisense）	軟件IntelliSuite	總部在美國
深迪半導體（上海）有限公司	微型陀螺儀	海外歸國人員創業
無錫美新半導體	加速度傳感器，地磁傳感器	母公司美國美新公司（MEMSIC）

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還有其它的，例如上海巨哥電子科技有限公司，深圳市卡默萊電子科技有限公司，煙臺睿創微納技術有限公司Raytron，上海三鑫科技發展有限公司（Laseno微型激光投影儀）

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目前，國內MEMS產品門類依然相對較少，主要還是以慣性器件和壓力傳感器為主，而且多是中低端產品，創新性強的新器件、新系統鮮有出現

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高校和研究所：

北京大學、1000m2 MEMS 潔凈室

中科院上海微系統與信息技術研究所，1600m2MEMS 潔凈室

河北半導體研究所（13所）1000m2MEMS 潔凈室

廈門大學薩本棟微納米技術研究中心 600m2潔凈室

中國工程物理研究院微系統中心1000 m2潔凈室

中國科學院微電子研究所

中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所

北京國浩微磁電子智能傳感器技術研究所

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其它的諸如：山東淄博國家高新區MEMS研究院、陜西省微型機械電子系統研究中心、西安212/213所、618所，航天717/704所等等，

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大連理工王立鼎院士的分析是：

研發的分布地區和單位：
中國內地MEMS的研發單位主要集中在華北、華東和東北三個地區，還有西南地區的重慶和西北地區的西安等。初步統計，不同層次的內地研發單位共有60余個。如：
華北地區：清華大學、北京大學、中科院電子所、石家莊13所，中科院力學所等；
華東地區：中科院上海微系統與信息技術所、上海交大、上海大學、東南大學、浙江大學、廈門大學、中國科大、南京55所等；
東北地區：大連理工大學、哈爾濱工業大學、哈爾濱49所、中科院長春光機所、沈陽儀器儀表工藝所、東北大學等；
西南地區：重慶大學、重慶微系統科技股份有限公司等；
西北地區：西安交大、航空618所等；
內地其它單位還有：解放軍總裝備部、中科院半導體所、中科院高能物理所、北京理工大學、北京航空航天大學、南開大學、天津大學、華北工學院、復旦大學、華東師范大學、中科院上海光機所、南京航空航天大學、中科院合肥智能機械所、黑龍江大學、沈陽工業大學、沈陽47所、長春科技大學、重慶24所、重慶26所、重慶44所、中科院成都光電技術所、中國工程物理院電子所、成都電子科技大學、西北工業大學、西安電子科技大學、廣東工業大學、武漢科技大學、河北科技大學、四川大學、航天集團16所等。
香港地區：香港科大、中文大學等。
臺灣地區：臺灣大學、清華大學、交通大學、成功大學、新竹工業園機械所等。
據統計，按部門分布如圖1所示。

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代工服務：

中芯國際

無錫華潤上華科技有限公司

臺灣的TSMC和UMC

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封裝：

南通富士通：

晶方半導體科技有限公司：拓展至微電機(MEMS)，無線射頻識別芯片(RFID)

華天科技：開發MEMS封裝技術

長電科技：已掌握MEMS封裝技術，并以實現量產

通富微電：國內最早研究開發MEMS封裝，也是國內最先實現MEMS量產的廠家，客戶包括意法半導體、美新等國內外知名的MEMS企業

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工業園：蘇州，無錫

造蘇州工業園區生物納米科技園，希望使其成為生物科技的創新平臺

無錫市積極建設中國微納國際創新園，并將微納米產業作為重點發展對象

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總結

以上是生活随笔為你收集整理的国内MEMS企业、研究所以及科研院校的全部內容，希望文章能夠幫你解決所遇到的問題。

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