【转】DFT小讲座之6_ATE测试扫盲
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TE【1】從設計流程上來說,是DFT的客戶。DFT邏輯設計的合理性,有效性乃至便捷性都需要通過TE的最終真刀實槍的上了機臺才見分曉。 可以說TE是檢測DFT成績的最直接部門。 無論哪行哪業,要想做到出色,了解客戶的需求是繞不開的一個大項。作為DFTer,了解TE的工作也是我們的必修課之一。 這一次, 我們很榮幸的請到了TE的資深團隊給我做一下TE的最重要的工作,ATE【2】測試的一個掃盲。 TIPS[1] TE, test engineer [2] ATE, automatic test equipment. 自動測試機臺 在目前的半導體產業中,工藝、算法和設計這些都是炙手可熱的領域。在絕大部分人的認知中,甚至包含很多硅農的認知里,芯片流片回來,如果功能沒有問題,那么大部分的工作應該做完了。然而現實生活遠沒有想象中那么完美。 測試的目的 絕大部分行業內人士都很熟悉一個名詞----“封裝測試”,但是測試到底是什么, 從沙子變成芯片,這中間經歷了若干的步驟,包括furnance,doping, 另外一個重要的測試原因在于產品分級。 芯片測試中的功能測試就是針對這一應用場景。 典型的例子就是CPU廠商,根據測試結果進行產品分類分級。 TIPS[1] 量產是指芯片可以達到大批量生產的階段。 [2] Class 1是對靜室的潔凈度分級。是指 塵粒尺寸在0.1微米或更大的情況下,密度不大于35粒每立方英尺。 [3] 缺陷即Defect。是指芯片生產過程中帶來的錯誤類型。 測試的過程
一個完整的測試流程就如下圖所示。 1. wafer【1】出場后需要進行wafer基本的測試,標記出壞片。 2. 將測試通過的芯片切割并封裝就可以的得到一粒一粒單獨的芯片。 3. 對封裝后的芯片進行再一次的測試,篩選掉封裝后損壞的芯片。 4. 將測試通過的芯片交付客戶。 基于測試對象的不同,如上圖所示,芯片測試分為CP (Chip Probing) 和FT (Final Test); Chip Probing又稱Wafer Sort,是基于尚未進行封裝的芯片,就是我們通常所說的wafer。而Final Test則是基于已經封裝好的芯片。
TIPS[1] Wafer是指晶圓
測試的工具
芯片測試離不開測試機(ATE)。目前最大的兩家ATE供應商是Teradyne和Advantest;常用的SOC測試機臺有J750, UltraFlex和V93K等。 除了測試機,針對每一款芯片,我們還需要定制ATE測試相關的測試硬件。對于CP, TIPS[1] probe card,探針卡 [2] socket。用于放置封裝好后芯片的基座 測試的激勵
測試機臺的測試激勵通常是高度依賴DFT設計(Design input 端主要負責將0/1表示的激勵文件轉換為合理的波形,加載合理的電壓,通過機臺輸給芯片。這些激勵可以是直接的測試內容(如scan激勵)也可以是觸發芯片內部bist的激勵(如MBIST測試激勵) output端主要將芯片輸出通過設置合理的檢測點,和期待的數值做比較并得出測試結果。 但是隨著芯片復雜度的提高,工藝的尺度不斷減小【2】一些問題或故障很難或無法抽象出相對應的失效模型【3】,這也導致傳統的DFT的測試覆蓋率越來越難以滿足客戶對質量的要求,在這種背景下,SLT(System TIPS[1] Defects per million parts。 每百萬產品中有缺陷產品的個數 [2] 這里主要是指摩爾定律的發展 [3] Fault Model。 故障模型。 是DFT進行其測試的基礎 測試的指標
在芯片測試中有很多重要的指標。 對于測試程序,我們比較關心測試覆蓋率(Test Coverage)和重復性及重現性(R&R:Repeatability and Reproducibility) 對于整個芯片測試成本,測試時間(test time)是關鍵因素;另外測試良率(yield)也是被很多人關心的指標,它和測試時間一起決定了是否能夠保證大量穩定的供貨。 小結
芯片測試是個跨度相當廣泛的領域,它涉及到芯片的設計、制造和測試軟硬件的開發,甚至在某些方面涉及到芯片在系統中的應用場景。它同時也是半導體產業中最重要的環節之一,決定了一款芯片的量產和成本。今天只是簡單的描述了芯片測試相關的知識,以后有時間再詳細的展開 |
總結
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