使用L-Edit畫環(huán)形光柵

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• 畫光柵
• • 預(yù)設(shè)
  • 新建層（layer）
  • 畫元胞（cell）
  • • 畫光柵的基本單元
    • • 繪制
      • 平滑
    • 畫光柵陣列
• 導(dǎo)出

L-Edit

是一個(gè)用來畫集成電路的軟件，也可以用來畫光柵。

軟件下載以及簡單的使用教程

軟件下載
教程（簡略）
教程（相對更全面）

畫光柵

預(yù)設(shè)

畫圓形需要畫圖工具欄中那三個(gè)按鈕（即圖中最右側(cè)的紅框里的），但剛打開這個(gè)軟件時(shí)可能沒有這三個(gè)按鈕。此時(shí)需要右擊 switching to draw orthogonal polygons 按鈕（即圖中左側(cè)紅框），選擇下拉列表中的 all angle & curves （即圖中最下方紅框）

新建層（layer）

為了方便看，要設(shè)定層的填充顏色。
在工具欄旁邊右擊，選擇 library and cell lists 和 layer palette，分別在窗口左邊呼出元胞和層的工具欄。

在層的工具欄中右擊，選擇 layer setup，可以改變層內(nèi)元件的填充顏色。

畫元胞（cell）

畫光柵的基本單元

繪制

要畫的光柵參數(shù)如下：

然后在界面左側(cè)的元胞框中新建一個(gè)元胞，名為circular. 在這里畫光柵的基本結(jié)構(gòu)。
使用畫圓按鈕，先畫一個(gè)以原點(diǎn)為圓心，半徑為5微米的圓。然后再畫一個(gè)10微米的圓。同時(shí)框選這兩個(gè)圓，點(diǎn)擊操作欄中的布爾運(yùn)算按鈕，選擇大圓減小圓，得到我們開頭看到的那個(gè)圓環(huán)。

平滑

一般做完布爾運(yùn)算后我們會發(fā)現(xiàn)原來的圓變成了一個(gè)正八邊形，這是因?yàn)檐浖?shí)際將圓用一個(gè)正多邊形來表示。

為了解決這個(gè)問題，需要點(diǎn)擊菜單欄中的 setup -> design -> grid，在 manufacturing grid 中，將格點(diǎn)尺寸取小一點(diǎn)（如0.005微米），然后勾選用制造的網(wǎng)格顯示曲線（即顯示導(dǎo)出后的結(jié)果），這樣曲線就會變得更平滑。

另一種絕活是將這個(gè)圓轉(zhuǎn)換成多邊形。在菜單欄中選擇 draw -> convert -> to polygon，即可將這個(gè)圓轉(zhuǎn)換成多邊形。這時(shí)再選擇這個(gè)圓環(huán)，ctrl+E點(diǎn)開元胞屬性，我們可以看到這個(gè)元胞成為了一個(gè)有400多個(gè)格點(diǎn)的多邊形。
這時(shí)再把manufacturing grid 調(diào)大，也不會出現(xiàn)退回多邊形的問題。

畫光柵陣列

新建一個(gè)元胞并將其打開，將之前的元胞 circular 拖入工作區(qū)。可以看到被導(dǎo)入的元胞已經(jīng)作為一個(gè)整體，只能修改其尺寸。
接下來將光柵的基本單元在x和y兩個(gè)方向做周期性的重復(fù)。選中circular，按ctrl+E，開始編輯物體。
紅框1 尺度因子, 以分子和分母的形式改變尺寸。
紅框2 重復(fù)，分別填x和y方向重復(fù)的個(gè)數(shù)，旁邊的 delta 即相鄰重復(fù)單元間距。
紅框3 平移。

基本單元的直徑為25微米，總的區(qū)域?yàn)?cm，因此需要重復(fù)200次。然后將重復(fù)完的陣列平移回坐標(biāo)原點(diǎn)。

導(dǎo)出

這里選擇首先將光柵陣列的元胞導(dǎo)出。
菜單欄中點(diǎn)擊file -> export mask -> GDSII. 選擇 all cells 進(jìn)行導(dǎo)出。

要注意的問題有以下兩點(diǎn)：

導(dǎo)出的時(shí)候默認(rèn)無法處理超過200個(gè)頂點(diǎn)的多邊形，所以對于這個(gè)環(huán)形光柵，會導(dǎo)出一個(gè)空文件，此時(shí)需要勾選 fracture polygons with more than …

導(dǎo)出的時(shí)候每個(gè)層都要有自己的編號和數(shù)據(jù)類型（我目前還沒弄懂?dāng)?shù)據(jù)類型是什么意思）
在 layer palette 中右擊，選擇 setup layers，給層設(shè)置編號和數(shù)據(jù)類型。

總結(jié)

以上是生活随笔為你收集整理的使用L-Edit画环形光栅的全部內(nèi)容，希望文章能夠幫你解決所遇到的問題。

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