CP測試針對的是未切割的整個Wafter。

1、CP測試項目

1.1、OS（Open/Short）

注意：SLT時的正常function測試并不能Cover O/S測試，原因在于由于類似ESD這樣損傷PAD上下二極管的Fail，function測試可能是測不出來的，而CP或者FT的O/S則是可以測出來的。

1.1.1、Power Short，只針對Power PIN

Power Short Test Condition（FVMI）：

芯片所有Power Pin（包括3.3V、1.1V）都加上0.1V電壓，即所有DPS提供0.1V；

ATE IO參數，

VIH為0V；

VIL為0V；

VOH和VOL都為0V；

VT_3V3為1.0V；

IOH和IOL都為0；

Period為NA，不用關注；

Digital IO Floating；

不需要跑Test Pattern；

Power Short Pass Criteria：

DPS的 Current范圍不能超過limit，如L_limit=-100uA，H_limit=+100uA。

1.1.2、OS PPMU VDD Diode，只針對Digital IO PIN（芯片電源不上電）

OS PPMU VDD Test Condition（FIMV）：

芯片所有Power Pin（包括3.3V、1.1V）都加上0V電壓，即所有DPS提供0V；

ATE IO參數，

VIH為0V；

VIL為0V；

VOH為0V；

VOL為0V；

VT_3V3為0V；

IOH為0V；

IOL為0；

Period為NA，不用關注；

Digital IO 灌+200uA電流（可能不同于圖片上的電流，可能100~500uA），每次測試一根IO；

不需要跑Test Pattern；

OS PPMU VDD Pass Criteria：

PMU測到的Current范圍不能超過limit，如L_limit=+0.2V，H_limit=+0.8V（可能不同于圖片上的電壓）。

1.1.3、OS PPMU VSS Diode（芯片電源不上電）

OS PPMU VSS Test Condition（FIMV）：

芯片所有Power Pin（包括3.3V、1.1V）都加上0V電壓，即所有DPS提供0V；

ATE IO參數，

VIH為0V；

VIL為0V；

VOH為0V；

VOL為0V；

VT_3V3為0V；

IOH為0V；

IOL為0V；

Period為NA，不用關注；

Digital IO 灌-200uA電流（可能不同于圖片上的電流，可能-100~-500uA），每次測試一根IO；

不需要跑Test Pattern；

OS PPMU VSS Pass Criteria：

PMU測到的Current范圍不能超過limit，如L_limit=-0.8V，H_limit=-0.2V（可能不同于圖片上的電壓）。

1.1.4、OS Functional VDD Diode

OS Func VDD Test Condition（FIMV）：

芯片所有Power Pin（包括3.3V、1.1V）都加上0V電壓，即所有DPS提供0V；

ATE IO參數，

VIH為0V；

VIL為0V；

VOH為0.8V；

VOL為0.2V；

VT_3V3為1.5V（什么原因？）；

IOH為-200uA；

IOL為+200uA；

Period為1MHz，對應每根IO測試1us；

Digital IO 灌+200uA電流（可能不同于圖片上的電流，可能100~500uA），每次測試一根IO；

不需要跑Test Pattern；

OS Func VDD Pass Criteria：

PMU測到的Current范圍不能超過limit，如L_limit=+0.2V，H_limit=+0.8V（可能不同于圖片上的電壓）。

1.1.5、OS Functional VSS Diode

1.2、IDDQ（Integrated Circuit Quiescent Current），只針對Power PIN

1.3、V_OHV_OL/V_IHV_IL，只針對Digital IO PIN

1.4、Input Leakage Current Test（I_IH/I_IL），只針對Digital IO PIN

I_IH是當芯片的某個input pin被設定為輸入VIH時，從這個input pin到芯片的ground之間的漏電流，如下圖所示：

I_IH Test Condition（FVMI）：

芯片Power Pin正常電壓供電（只考慮Vcoef100的情況），如3.3V、2.5V和1.1V等；

ATE IO參數，

VIH為正常電壓，如3.3V；

VIL為0V；

VOH為正常電壓的一半，如1.65V；

VOL為正常電壓的一半，如1.65V；

VT_3V3為0V；

IOH為0V；

IOL為0；

Period為25MHz？？？

Digital IO用測試pattern使其輸出H；

Digital IO上Force正常所在Power Domain電壓，如3.3V；

Reset PIN拉低，芯片處于Reset狀態；

I_IH Pass Criteria：

各個IO的Leakage Current范圍不能超過limit（經驗值，可以統計大量IC得到），如L_limit=-10uA，H_limit=+10uA。

I_IL是當芯片的某個input pin被設定為輸入VIL時，從芯片的VDD 到這個input pin的之間的漏電流，如下圖所示：

I_IL Test Condition（FVMI）：

芯片Power Pin正常電壓供電，如3.3V、2.5V和1.1V等；

ATE IO參數，

VIH為正常電壓，如3.3V；

VIL為0V；

VOH為正常電壓的一半，如1.65V；

VOL為正常電壓的一半，如1.65V；

VT_3V3為0V；

IOH為0V；

IOL為0V；

Period為25MHz？？？

Digital IO用測試pattern使其輸出L；

IO Force 0V；

Reset PIN拉低，芯片處于Reset狀態；

I_IL Pass Criteria：

各個IO的Leakage Current范圍不能超過limit（經驗值，可以統計大量IC得到），如L_limit=-10uA，H_limit=+10uA。

1.5、Output Leakage Current Test（I_OH/I_OL），只針對Digital IO PIN

I_OH Test Condition（FVMI），以Vcoef100為例：

芯片Power Pin正常電壓供電，如3.3V、2.5V和1.1V等；

ATE IO參數，

VIH為正常電壓，如3.3V；

VIL為0V；

VOH為正常電壓的一半，如1.65V；

VOL為正常電壓的一半，如1.65V；

VT_3V3為0V；

IOH為0V；

IOL為0V；

Period為25MHz？？？

Digital IO用測試pattern使其輸出H；

Digital IO Force 在IO正常的V_IH上，如3.3V對應的2.4V，2.5V對應的2.0V等；

Reset PIN拉低，芯片處于Reset狀態；

I_OH Pass Criteria：

各個IO的Leakage Current范圍不能超過limit（經驗值，可以統計大量IC得到），如L_limit=-50mA，H_limit=-10mA。

I_OL Test Condition（FVMI）：

芯片Power Pin正常電壓供電，如3.3V、2.5V和1.1V等；

ATE IO參數，

VIH為正常電壓，如3.3V；

VIL為0V；

VOH為正常電壓的一半，如1.65V；

VOL為正常電壓的一半，如1.65V；

VT_3V3為0V；

IOH為0V；

IOL為0V；

Period為25MHz？？？

Digital IO用測試pattern使其輸出L；

Digital IO Force在IO正常的V_IL上，如3.3V對應的0.4V，1.8V對應的0.2V等；

Reset PIN拉低，芯片處于Reset狀態；

I_OL Pass Criteria：

各個IO的Leakage Current范圍不能超過limit（經驗值，可以統計大量IC得到），如L_limit=-7mA，H_limit=+40mA。

1.6、DFT Boundary Scan

1.7、DFT Scan

2、成本

垂直探針比懸臂探針昂貴；懸臂探針測試DCDC不準確。

探針越細，價格越貴；單根探針耐電流可能在30mA左右。

泰瑞達 J750HD有1024個通道，J750EX只有512個通道。

一片12英寸的wafer，價格大約3.4K美刀。

3、分析

4、縮寫

ATE：AutomaticTest Equipment
BPMU：Board Parametric Measurement Unit
DPS：Device Power Supply
FIMV：Force Current Measure Voltage
FVMI：Force Voltage Measure Current
PMU：Parametric Measurement Unit
PMU：Precise Measurement Unit
PPMU：Pin Parametric Measurement Unit
PPMU：Pin Precise Measurement Unit

J750 Programming V3.40
知乎 芯片測試科普

總結

以上是生活随笔為你收集整理的Chip Probe（CP）测试的全部內容，希望文章能夠幫你解決所遇到的問題。

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